洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。
压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于地位。
无尘车间吊顶用什么资料?
1、铝镁合金吊顶
铝镁合金吊顶的独到之处是才能好,与此同时因增加有适量的锰元素在内,在强度和刚度上明显提高,是无尘车间吊顶的资料。
2、铝锰合金吊顶
该品种吊顶欠好的是才能略差于铝镁合金吊顶,不过呢,铝锰合金吊顶的强度与刚度却略优于铝镁合金,也是较为不错的一款无尘车间吊顶资料。
3、铝合金吊顶
铝合金吊顶所含锰、镁较少,其强度及刚度更是与铝镁合金吊顶和铝锰合金吊顶难以相比,就连才能也很一般,净化等级较高的出产车间就不适合选用铝合金吊顶了。
以上信息由专业从事PCR实验室设计施工公司的云洁净化于2024/5/3 11:55:02发布
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